德國HEIDENHAIN直線光柵尺LIP6000系列行業(yè)標準

德國海德漢HEIDENHAIN直線光柵尺LIP6000系列光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大長度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵?？刮廴镜腻兘饘咏饘贃沤^對式測量是指光柵尺或編碼器在通電時立即提供位置值并隨時供后續(xù)電子電路讀取。無需移動軸執(zhí)行參考點回零操作。絕對位置信息由一系列絕對碼編排的光柵讀取。單獨的增量刻軌信號通過細分生成位置值，同時用于生成可選的增量信號線，典型柵距：40 μm玻璃基體的超硬鉻柵線（典型柵距：20 μm）或玻璃基體的三維鉻線格柵典型柵距8 μm相位光柵,光學(xué)三維平面格柵，抗污能力,典型柵距不超過相位光柵光學(xué)三維平面格柵，它是最終檢測中確定的并標注在檢定記錄圖中。

對于封閉式直線光柵尺，該數(shù)據(jù)體現(xiàn)含讀數(shù)頭在內(nèi)的光柵尺精度，不要自行拆開光柵尺傳感器，更不能任意改動主柵尺與副柵尺的相對間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報廢。應(yīng)注意防止油污及水污染光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測量誤差。光柵尺傳感器應(yīng)盡量避免在有嚴重腐蝕作用的環(huán)境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質(zhì)量也即系統(tǒng)精度。單信號周期內(nèi)細分誤差單信號周期內(nèi)的細分誤差取決于光柵尺的信號周期、光柵質(zhì)量和掃描質(zhì)量。

在任何測量位置，該誤差通常在信號周期的± 2%至± 0.5 %范圍內(nèi)信號周期越小，單信號周期內(nèi)的細分誤差也越小。這對定位運動精度和慢速運動以及軸運動期間的速度控制非常重要，因此決定表面質(zhì)量和被加工件的質(zhì)量。超高反光性能；典型柵距：不超過2 μm除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機制造。

技術(shù)參數(shù)：

光柵周期    8.000 µm熱系數(shù)

線性膨脹    0·10-6K-1

準確度等級±1.0微米

測量長度20 毫米

標記位置ML/2——在測量長度的中間

緊固類型夾緊

厚度 2.90 毫米

寬度 15.00 毫米